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FR系列减压阀:五大优势 赋能半导体气体输送

半导体制造的工艺过程错综复杂,所需精度和控制水平极高·与设定参数的任何细小偏离,都可能导致产品缺陷或不合格·以晶圆各层的沉积、蚀刻以及清洗等工艺为例,通过合适的压力和流量输送所需气体,对于确保高效工艺和优良效果至关重要。

减压阀成为破局的关键部件之一。减压阀以恒定压力,将气体稳定地输送至工艺设备。压力越稳定,质量流量控制器的性能就越强,向工艺腔体输送的气体量也就越准确·此外,还有助于降低污染风险,营造受控的清洁环境。

减压阀种类繁多,而半导体制造相关工艺通常选用不锈钢减压阀。派克汉尼汾旗下的FR系列减压阀凭借五大优势,成为众多半导体工厂的理想之选,该系列减压阀尤其适用于需超高纯(UHP)部件的工艺过程。

五大优势 赋能半导体气体输送

通用的阀体设计

该设计让减压阀可轻松集成到各种系统,广泛的流速和压力范围使得灵活性更大,应用范围广
循环寿命长

采用Hastelloy C-22合金膜,耐腐蚀性强,整体循环寿命提升。Hastelloy材料高度耐用且耐腐,无惧恶劣环境和高压循环。
安全可靠

采用金属对金属密封膜片,防泄漏性能优秀,为安全可靠的运行保驾护航。发货前通过氨气泄漏测试,安全可靠、性能出众。

异的适应性
多种接头尺寸和类型可选,能适配不同类型的管道而无需额外接头或连接件。同时,还能提供NPT螺纹标准产品。

精确控制 无惧挑战

有了五大优势加持,FR系列减压阀可为半导体制造过程中的气体传输,尤其是超高压半导体气体输送提供精确的压力控制,是众多应用的理想之选

1.使用点应用

使用点应用是半导体制造中减压阀的常见用途。在使用点应用中,减压伐直接安装在工艺腔体的气体管道上。

FR系列减压阀采用通用阀体设计,易于安装和维护,通过精确稳定的压力控制,有助于实现精确的半导体加工是使用点应用的理想之选。尤其是FR1000和FR1400减压阀,能提供较高流量,快速向工艺室输送大量气体,非常适合等离子体蚀刻或化学气相沉积等要求高气体流速的工艺。

2 设备二次配(预制管路)

在一些半导体制造工艺中,气体输送系统会与预制管理进行配管相连,预制管路方便用户轻松连接并断开气体管道。
FR减压阀外形小巧,可以直接安装在预制管路上,为使用点提供精确稳定的压力控制。减压阀采用的模块化设计,易于维护和维修,对于需频繁更换设备或空间有限的工艺来说,是理想之选。

3.VMBS.VMPS.GIBS
半导体制造所用的阀门分配箱、阀门分配面板和气体隔离箱可用于控制流向工艺腔体的气体。这些装置还可以隔离气体管道,以方便维护或维修。FR减压阀结构紧凑、重量轻,可轻松安装在阀门分配箱、阀门分配面板和气体隔离箱上,为它们提供精确稳定的压力控制。这些减压阀还可以处理各种气体,用途厂泛,适用于多种半导体工艺。

4.气瓶柜&大宗特种气体系统

气瓶柜用于存储特种气体并将其输送到工艺室,而大宗特种气体系统则用于存储并输送到工艺腔体的特种气体FR减压阀外形小巧,可直接安装在气瓶柜或大宗特种气体系统上,为它们提供精确稳定的压力控制,非常适合那些需要稳定特种气体流量或大量特种气体的工艺·同时,它们适用于腐蚀性气体及有毒气体等不同气体,可用于多种半导体工艺。FR系列减压阀可提供较高的流量,快速向工艺室输送大量气体。

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